磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用?

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/05/02 21:16:44

磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用?
磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用?

磁控溅射镀膜中氧气氩气氮气分别起什么主要作用?
电镀是电化学反应,在电镀池中装有电解质溶液,
　　此电解质溶液含有镀层金属的离子,通电后,由于待镀件接的电源的负极,因此待
　　镀件表面聚集大量的带正电荷的镀层金属离子即待镀件被带正电荷的离子包围并
　　在此得到电子,成为原子沉积下来,镀层金属原子失去电子变为离子进入电解质溶
　　液中,此电子转移的过程,也就是氧化－还原反应.
所以氧气是保证更好的进行这个反应,而氮气氩气是保护为主.

问题补充：谁知道磁控溅射镀膜时通氩气和氧气的作用是什么啊？还有就是对电阻氩气的作用：被撞击后产生Ar离子，在负高压的作用你通入氩气是为了能够

1.镀金属膜时，一般用氩气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。2.氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。3.氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。
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氩气是工作气体，它属于惰性气体不与其它气体产生反应，氧气和氮气是反应气体，

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磁控溅射镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?

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