作业帮半导体硅片匀胶的作用是什么
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/07 00:41:09
半导体硅片匀胶的作用是什么
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匀胶的作用主要是讲光刻胶涂平,利用高速旋转的离心力.
匀胶的时候你可以看到滴到Wafer上的一滴液体（匀胶后会高温处理,蒸发掉其中水分,定型,说是固体,其实还是比较软的,后面plasma ETCH之前一般会有一步UVbake,进行加固）由中心向外侧扩散,一圈一圈的,直至完全变平.
在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶，再进行曝光、显影，将光罩上的图形转移的光刻胶上，为后续的刻蚀、注入工艺服务。
保证硅片表面光刻胶的平整度，以免影响到光刻的精度和质量。
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