PECVD等离子化学气象沉积原理是什么?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/03/29 16:26:45
PECVD等离子化学气象沉积原理是什么?

PECVD等离子化学气象沉积原理是什么?
PECVD等离子化学气象沉积原理是什么?

PECVD等离子化学气象沉积原理是什么?
pecvd等离子体增强化学气相沉积技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜.